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晶体振荡式露点仪原理
利用晶体沾湿后振荡频率改变的特性，可以设计晶体振荡式露点仪。晶体振荡式露点仪的敏感元件是水感性石英晶体，它是在石英晶体表面涂覆了一层对水敏感 （容易吸湿也容易脱湿）的物质。当湿性样品气通过石英晶体时，石英表面的涂层吸收样品气中的水分，使晶体的质量增加，从而使石英晶体的振荡频率降低。
红外露点仪原理原理
利用气体中的水份对红外光谱吸收的特性，可以设计红外式露点仪。
半导体传感器
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每个水分子都具有其自然振动频率，当它进入半导体晶格的空隙时，就和受到充电激励的晶格产生共振，其共振频率与水的摩尔数成正比。水分子的共振能使半导体结放出自由电子，从而使晶格的导电率增大，阻抗减小。新能源公司仪器外校
电传感器式露点仪
采用亲水性材料或憎水性材料作为介质，构成电容或电阻，在含水份的气体流经后，介电常数或电导率发生相应变化，测出当时的电容值或电阻值，就能知道当时的气体水份含量。建立在露点单位制上设计的该类传感器，构成了电传感器式露点分析仪。国际上达到±1.0℃(露点温度)，一般精度可达到±3℃以内。
目前世界上生产电传感器式露点仪的公司，如MICHELL公司的EASIDEW ON-LING、一般精度可达到±3℃以内。还有VAISALA公司的DMT242、DMT143，DMT340系列。 。
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镜筒
镜筒包括电子枪、聚光镜、物镜及扫描系统。其作用是产生很细的电子束(直径约几个nm)，并且使该电子束在样品表面扫描，同时激发出各种信号。
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